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LDW-D1

LDW-D1直寫光刻設備是自主研發生產的一款高端量產設備,采用高端空間光調制器件,結合先進的數據處理系統,可實現高解析、高產能、智能管控的量產需要。設備主要應用于平板顯示、先進封裝等微納加工領域。
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產品描述
參數
1、產品介紹
LDW-D1直寫光刻設備是自主研發生產的一款高端量產設備,采用高端空間光調制器件,結合先進的數據處理系統,可實現高解析、高產能、智能管控的量產需要。設備主要應用于平板顯示、先進封裝等微納加工領域。

?      網格精度:20nm

?      最小線寬:700nm

?      基板尺寸: 12inch(可拓展)

?      曝邊:選配

?      智能化:自動打碼、讀碼、對接MES系統

?      支持格式: GDSII/ODB++/Gerber

 
2、技術規格

序號

項目

單位

LDW-D1

1

最小線寬

nm

700

2

最高產能

mm2/min

3000

3

套刻精度

3σ,nm

400

4

最大基板尺寸

mm

300*300mm

 

 

 

 

 

 

3、應用領域

平板顯示

先進封裝

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